如何對(duì)無(wú)塵室微粒子濃度控制（control)方案
10-100萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室，其空氣潔凈室必須得到有效控制（control)才能發(fā)揮潔凈室的作用，但是如何控制無(wú)塵室內(nèi)微粒子濃度的控制呢？這是潔凈室工程師思考的問(wèn)題。通常來(lái)講，無(wú)塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)(Produce)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。
無(wú)塵室內(nèi)如何控制（control)微粒子濃度呢？
1、不攜入:人、機(jī)、料進(jìn)無(wú)塵室不攜入微粒子
（1）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進(jìn)入無(wú)塵室。潔凈度檢測(cè)潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。凈化車(chē)間檢測(cè)換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動(dòng)±2℃。
（2）機(jī)器、材料進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能（maybe)在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞（transmission)窗吹淋后才能進(jìn)入無(wú)塵室。靜壓差由于層流流量計(jì)適用于層流流動(dòng)狀態(tài)，從流體力學(xué)的角度分析是適用于低雷諾數(shù)下的流動(dòng)。流 體在流動(dòng)過(guò)程中粘性力占主導(dǎo)地位。 由于粘性力的影響，流體在流動(dòng)過(guò) 程中將造成壓力能的損耗，使壓力 下降。在穩(wěn)定流動(dòng)過(guò)程中，流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關(guān)系。
（3）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
2、不發(fā)生:無(wú)塵室內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的不發(fā)生控制（control)；
在控制（control)最大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：
（1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)（pattern)；
（2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
（3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；
3、不儲(chǔ)備：
現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁（frequency)出入及機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)（動(dòng)態(tài)），無(wú)塵室要想達(dá)到動(dòng)態(tài)潔凈級(jí)別，因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。
控制（control)氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)吸附而引起的微粒附著，通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)（pattern)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn) 行除電。
4、排除/除去
在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：
由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源（解釋:向自然界提供能量轉(zhuǎn)化的物質(zhì))消耗（consume)。所以無(wú)法說(shuō)是絕對(duì)理想的對(duì)策。因此盡可能（maybe)地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。
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